PX系列简介 汉钟PX系列旋片泵简化了真空泵的工艺结构。油润滑旋片设计，辅以的制作材料，配以*的精密制造，确保其在持续运行时可以获得稳定的高真空。高效的抽气系统...

用途： Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant特点： 绿色制造、全新系列干式真空泵...

特点：较低的电能消耗。节能模式的应用降低整体功耗。体积小，重量轻。节省了安装空间。

用途： Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD, PECVD, LPCVD,ALD特点：IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优...

PA VSD+系列真空泵是一款节能，环保的永磁变频微油螺杆真空泵。 ·高效能 得益于变频驱动控制，PA VSD+可提供所需的流量而不会过量，避免浪费能源。新型的...